閥體采用SUS316L不銹鋼，高純度氣體用隔膜閥門的標(biāo)準(zhǔn)機型。采用有實際成果的55L型構(gòu)造，可以對應(yīng)多種特殊高壓氣體。輕快順暢的手輪操作。搭載了防止手柄松動的功能。

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【適用氣體】

腐蝕性，毒性，易燃，高純氣體（半導(dǎo)體）：NF3、SiH4、BF3、SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。

【特征 1】清潔性能，耐腐蝕性更出眾

①氣體很難在閥體內(nèi)滯留，閥的主件不會受到功能損壞或腐蝕。

②可保證氣體純度，對半導(dǎo)體品質(zhì)的影響降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.35

①適用于液化氣的一般流量閥門，也可用于壓縮氣體。

②進出口螺紋及形式由客戶指定的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)。

【特征 3】 采用特殊的平墊片

 可減輕因扭力過大導(dǎo)致的墊片變形。

參數(shù)：