美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量計，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。
可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

應(yīng)用及案例

 

● 大學(xué)/研究所

● 泄漏檢測

● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 半 導(dǎo) 體

● 汽車制造

● 計量校準(zhǔn)

● 過程工藝氣體測量

產(chǎn)品特色

 

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 量程可測比1%-100%

● 響應(yīng)時間快，僅需10 ms

● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術(shù)指標(biāo)

 

介質(zhì)要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類    內(nèi)置了130種氣體，請參考背面

                   一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程     從0-0.5 SCCM   到   0-5000 SLPM（詳情請咨詢）

最大顯示流量    128 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

高  精  度    ±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程），選配

                   僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設(shè)備

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復(fù)  性    ± 0.2 %滿量程

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質(zhì)量流量零點(diǎn)和滿量程壓力漂移    ±（0.08% 讀數(shù)+ 0.02% 滿量程）

                  （從校準(zhǔn)壓力開始）

響應(yīng)時間    10 ms

預(yù)熱時間    ＜1 s

默認(rèn)標(biāo)況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ±0.75℃

工作濕度    0 ～100 %，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa  表壓

最低操作壓力    如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度    ±0.5%滿量程

極限耐壓    1.1MPa  表壓，進(jìn)出口最大瞬時壓差可為0.5 MPa

滿量程壓損    參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、                    

                   Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓     9 - 24VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為12 - 24 VDC ）

供電電流     40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)     316L不銹鋼、FFKM（標(biāo)準(zhǔn))

                   可根據(jù)特殊氣體選用FKM、EPDM、Buna

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護(hù)等級    IP40

認(rèn)       證    ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）

尺寸詳圖

 

                              

尺寸壓損

 

滿量程質(zhì)量流量計	滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中	機(jī)械尺寸	管道連接接口2
0.5 sccm - 1 sccm	1.0	4.4''H ×2.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋） （Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)）
2 sccm - 50 sccm	1.0
100 sccm - 20 slpm	1.0	4.6''H ×2.4''W ×1.1''D	1/8''NPT內(nèi)螺紋
50 slpm	2.0	5.1''H ×4.0''W ×1.6''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋
100 slpm	2.5
250 slpm	2.1	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D	1/2''NPT內(nèi)螺紋
500 slpm	4.0	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D	3/4''NPT內(nèi)螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋）
1000 slpm	6.0
1500 slpm	9.0	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D
2000 slpm	5.0
3000 slpm	7.1	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D	1-1/4''NPT內(nèi)螺紋
5000 slpm	3.4	7.0''H ×5.2''W ×3.9''D	2''NPT內(nèi)螺紋
1、見公制圖紙； 2、 與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。

產(chǎn)品大圖

---

 

氣體編碼

 

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產(chǎn)品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產(chǎn)品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產(chǎn)品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。