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最后更新:2023-01-09 10:58
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CS200質(zhì)量流量控制器&流量計
CS200氣體質(zhì)量流量控制器,采用先進(jìn)傳感器和溫度補(bǔ)償技術(shù),因此產(chǎn)品精度可以達(dá)到設(shè)定值1%以內(nèi),并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時,產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應(yīng)時間方面更加岀色。全量程范圍內(nèi),CS200C產(chǎn)品最快可在800ms以內(nèi)達(dá)到設(shè)定流量,響應(yīng)時間將使用過程中產(chǎn)生的系統(tǒng)誤差最小化,所需流量更加精準(zhǔn)。
優(yōu)勢
• 采用的恒功率傳感器原理,在溫度變化時進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償,從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線性。
• CS200C產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù),與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下,CS200D產(chǎn)品金屬表面粗糙度可達(dá)25RA。
• CS200產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造,尺寸符合國際通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn)。
• CS200系列產(chǎn)品支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品支持RS485,DeviceNet通訊方式。
• 具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、報警功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。
技術(shù)參數(shù)
CS200 |
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類型 |
CS200-A |
CS200-C |
CS200-D |
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閥類型 |
常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 |
無 |
常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 |
無 |
常開(100 SCCM≤流量規(guī)格≤5 SLM) 或常閉 |
無 |
流量規(guī)格(N2) |
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
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準(zhǔn)確度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
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線性 |
±0.5% F.S. |
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重復(fù)精度 |
±0.2% F.S. |
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響應(yīng)時間 |
≤ 1sec |
≤ 0.8sec |
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工作壓差范圍 |
0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa |
<0.02 MPa |
最大工作壓力 |
0.45MPa |
|||||
溫度系數(shù) |
零點(diǎn): ≤±0.05% F.S./℃; |
零點(diǎn): ≤±0.02% F.S./℃; |
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耐壓強(qiáng)度 |
3MPa |
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漏率 |
1×10-10 Pa·m3 / sec He |
1×10-11 Pa·m3 / sec He |
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密封材料 |
氟橡膠 |
金屬密封 |
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工作環(huán)境溫度 |
(5~45)℃ |
(0~50)℃ |
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輸入信號 |
數(shù)字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus |
無 |
數(shù)字: RS485 |
無 |
數(shù)字: RS485 |
無 |
輸出信號 |
數(shù)字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT |
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零漂 |
在沒有零點(diǎn)校正時<0.6%F.S./年 |
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電源 |
±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極) |
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表面化學(xué)成分 |
常態(tài) |
Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃) |
常態(tài) |
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表面粗糙度 |
25 Ra |
10 Ra |
25 Ra |
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標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 |
雙卡套 φ6;雙卡套 1/4´´;雙卡套 3/8´´;VCR1/4´´陽接頭;雙卡套φ3; |
雙卡套φ3;雙卡套φ6;雙卡套 1/4;VCR1/4 陽接頭; |
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電源接頭形式 |
D 型 9 針陽接頭;D 型 15 針陽接頭;DeviceNet 接頭; ProfiBus 接頭;模擬接頭 |
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重量 |
1 Kg |
0.8Kg |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |
價格:面議
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價格:面議
價格:面議
價格:面議
價格:面議
氫能與燃料電池產(chǎn)業(yè)
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