等離子體流動控制設(shè)備 產(chǎn)品介紹

   

LFIX系列氣流控制系統(tǒng)由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量調(diào)節(jié)閥和壓力檢測組件等組成，它利用流動的流體不同的流量效應(yīng)而制成，其原理是采用量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，并分別控制各自氣體的流量，進(jìn)入混合器進(jìn)行精密混合，將混合后的氣體按需輸出給用氣點(diǎn)，同時(shí)設(shè)備自帶多種測量原件對氣體進(jìn)行檢測，保證混合的..性。

 

 

                                                                                                                                                                                                                                                                                               

  產(chǎn)品用途

   

 

廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領(lǐng)域.

 

 

                                                                                                                                                                                                                                  

產(chǎn)品特點(diǎn)

    

 

氣流控制系統(tǒng)能準(zhǔn)確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準(zhǔn)確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，為半導(dǎo)體設(shè)備提供氮?dú)饪刂萍暗獨(dú)鉁囟鹊目刂茰y量，保證半導(dǎo)體設(shè)備能夠正常運(yùn)行。